二手 MAGNETRON SHS-2M-3-400TL #9221750 待售

MAGNETRON SHS-2M-3-400TL是为各种物理气相沉积（PVD）应用而设计的MAGNETRON溅射设备。系统由两级MAGNETRON、3位旋转目标和直径400毫米的平面目标组成。MAGNETRON为两级设计，由初级级和次级级组成。初级级由外部冷却、磁屏蔽的大功率直流放电磁控管组成。这种磁控管最适合用于金属合金和氧化物等薄膜材料的溅射沉积。二次无阳极细间距磁控管用于控制小目标区域的蚀刻或溅射。它有一个大功率射频源和一个平面法兰来支撑目标。3位旋转目标用于进行多层溅射和涂层。溅射装置采用专利的溷合溅射方法，实现了较高的沉积速率和均匀性。直径400毫米的平面目标用于更大面积的沉积。它可以沉积各种材料，从金属合金和氧化物到氮化物和碳化物。SHS-2M-3-400TL溅射机具有独立的控制界面,允许用户控制溅射过程的所有参数。该工具还包括一个电动吊杆，便于目标的人体工程学定位。该资产被封闭在气密室中，以防止溅射过程受到污染，并最大限度地提高沉积效率。此外，该车型还内置联锁安全设备，确保运行安全可靠。MAGNETRON SHS-2M-3-400TL非常适合广泛的PVD应用，包括光伏电池、LED照明、工具涂层和其他高级涂层。该系统的设计具有高精度、高沉积率、高均匀性等优点。先进的技术确保了一致、优质的涂层和优越的投资回报。