二手 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 #9174887 待售

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ID: 9174887
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
RF Sputtering system, 6" Process chamber ultimate vacuum: ≤2.0E^-6T Process gas pressure range: 0-50mt Process gas flow: 1-200sccm RF: Up: 0-2 kW Down: 0-5 kW Power: 208V, 60 Hz, 3 Phase, 125A 1994 vintage.
MEIVAC/ALCATEL/COMTECH 2460是一种先进的溅射沉积设备,专为在研发、半导体和光学行业的涂层应用而设计。该系统利用多目标、多弧磁控管溅射在基板上形成保护层。该工艺在均匀性、沉积厚度和附着力方面提供了卓越的性能。该装置配备了多达八个溅射源,以及一个四轴自动定位机,使均匀和全覆盖。总沉积面积可以很容易地改变,以适应应用的需要。这些特征允许径向和/或横向涂层。该工具的源代码控制模块包括一个流程监控资产,它提供了全面的实时沉积信息。这包括沉积速率、表面均匀性、污染和台阶高度。其他特点包括高温处理、氧等离子体辅助沉积、介电层沉积以及像纳米粒子这样的独特材料的掺入。MEIVAC 2460使用简单,包括直观的设置选项、易于编程的配置文件构建以及全面的支持。该模型需要最小的空间,并提供灵活的联网选项,允许用户从多个位置连接和控制设备。ALCATEL 2460设计得高度可靠,并配有众多硬化特性。这包括故障安全电源控制设备、监控电压和易于调节的脉冲电源卸载。此外,该单位的设计是为了安全和具有成本效益的运作,包括全面的流程监测和监管系统。2460是一种先进、高效的溅射沉积系统。该单元优越的性能和多功能性使其非常适合各种行业和应用。这台机器为用户提供了一个易于控制的单元,提供精确的结果和卓越的稳定性。
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