二手 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 #9261538 待售

ID: 9261538
Barrier layer deposition systems.
MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 2460溅射设备是一种先进、通用、可靠的工具,用于将不同材料的薄膜沉积到各种基材上。它设计用于多层化合物的高通量沉积,从而产生清洁、涂层和绝缘薄膜。此工具的模块化设计适用于薄膜的沉积和表征,可用于打印、平板显示器、传感器和生物医疗设备等多种应用的三种协作目标。MEIVAC 2460设有真空室,由一个带隔离阀的超高真空口和涡轮泵组成。该室还配备了气体控制系统,提供精确控制的低压环境。这一单元提供了对总压力的主动控制,并允许人们从用于溅射和表征薄膜的各种气体中进行选择。此外,该室还配备了用于温度稳定的内部水冷却机和坚固的目标支撑,为引入基板提供了多种可能性。沉积过程由基于PC的电子工具和用户友好的图形界面控制。ALCATEL 2460具有广泛的溅射源,包括共沉积源、高功率源和专门设计的源。每个源都与工艺和基材精确匹配,以优化性能并确保工程质量结果。溅射源提供了广泛的离子种类,如Ar+、Ar++、反应气体离子等,允许对沉积速率和均匀性进行微调。共沉积源可产生多种受控微观结构的层状结构。COMPTECH 2460溅射资产提供卓越的性能、可靠的操作和可定制的配置。它提供了对操作参数和沉积过程的全面控制。它允许在真空室内进行过程监控,并使用各种精密工艺仪器进行出色的过程控制。它非常适合为需要电阻、电容、光学或磁性的应用创建薄膜,并且能够以高精度和高通量进行出色的材料沉积。2460溅射模型是涂覆具有可靠、高性能薄膜层的基板的最佳工具。
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