二手 MRC 603 #293628797 待售

MRC 603是为薄膜物理气相沉积（PVD）设计的全自动溅射设备。它设计用于从研究到生产的操作和过程。强大的溅射系统适用于任何需要光滑、均匀和精确沉积具有高重复性的材料的应用。603有六个可以配置不同材料类型的阴极，使得PVD工艺可以调整到广泛的要求。MRC 603的独特设计允许多种阴极配置，从固定配置到旋转配置。该单元还能够偏置，允许基板以最大的效率和速度进行加工。603有板载等离子体发生器，适合反应性溅射。强烈建议采用这种方法实现可靠和均匀的沉积。MRC 603的先进软件套件允许设定和控制精确的溅射参数，从而保证了高质量的均匀薄膜。603的坚固设计允许高功率运行，使得较厚的薄膜沉积具有更高的吞吐量。这台机器的独特设计是利用可编程控制器来驱动过程参数和操作，从而便于定制和可重复性。为了在高溅射速率下高效沉积薄膜，MRC 603在其设计中嵌入了全自动基板加热/冷却工具。这使得对底物温度的精确控制可以达到高均匀度的可重复薄膜。603可以针对广泛的应用进行定制，在其设计中嵌入各种联锁和安全系统。这样可以确保操作人员在加工敏感基材和高纯度薄膜时的安全。MRC 603是一种多功能、可靠和创新的溅射资产。它不仅适用于研究应用，而且其丰富的特性使其也非常适合用于生产。高端应用,如薄膜堆栈装配,可以利用精确、可重复和精确的薄膜603进行存放。