二手 MRC 603 #293666830 待售

MRC 603是由Nova Instruments, Inc.设计制造的用于薄膜沉积工艺的多功能可靠溅射设备。该系统采用圆形、9桶、四臂炮塔，提供最佳沉积几何形状和广泛的工艺灵活性。该炮塔装有一个充电卡，最多可控制六种不同的工艺或材料。603采用全自动过程控制,具有触摸屏PLC、独立的直流电源和过程控制功能。这确保了沉积是可重复和安全的。该单元还可以同时适应直流和射频溅射配置,允许用户根据其确切的工艺需求定制机器。该工具的控制站最多可存储20种不同的流程监控配方。MRC 603有一个内置的气体处理歧管，使资产可以很容易地整合到现有的真空基础设施中。在最大气体流量为2.5升/分钟的情况下，该模型允许将气体高效输送到工艺室内。此外，设备的开放式设计HF/DC发电机允许优越的蚀刻均匀性，而双磁控管设计则提供了理想的溅射环境。603的附加功能包括91英寸的腔室,其设计可提供足够的加工面积和高吞吐量。使用6英寸的特氟龙窗口，使系统能够溅射到酸铵、钨、钼、铝、不锈钢、合金等工艺材料。聚四氟乙烯窗口还为薄膜光伏等光学应用提供了卓越的光学清晰度。总体而言，MRC 603是一个高质量的溅射装置，具有支持实验室级薄膜沉积过程所需的所有功能。该机高效、可靠、经济高效，加上先进的特点，也适用于大型工业应用。