二手 MRC 603 #293793111 待售

MRC 603是一种高性能的溅射设备，用于沉积纳米尺度的薄层材料。该系统利用具有三焦点磁场的多目标旋转阴极，允许最大溅射速率、均匀性和各种基板上均匀的涂层厚度。此外，可以调整目标角度，优化溅射速率和均匀性参数。凭借最多可支撑三个溅射室的能力，603允许客户涂覆大型基板，如平板显示器、汽车玻璃和有机发光二极管（OLED）。该单元是模块化和可自定义的,允许针对各种客户需求定制配置。这包括各种腔室大小和目标，以及可调气体管线，以提高耐用性和灵活性。该工艺室由不锈钢制成，提供强大的污染物防护。直径从8英寸可调至24英寸，以支撑各种基材尺寸和厚度。MRC 603的直流电源可提供高达100 kW的功率，允许在涂层过程中增加溅射速率。此外,它还提供了对电位和电流的精确控制,从而实现了准确和可重复的涂层结果。集成的溅射过程控制机器允许精确、用户定义的过程参数，最大限度地提高成本和时间效率。该工具可在多种模式下运行，包括低压脉冲直流、磁控管和热。603也可以配置为具有阳极和两个磁控管。这允许同时溅射两个或三个独立的目标，提供增加和可重现的同质性性能。阳极电源也可调节，让客户延长目标寿命。MRC 603包含了一系列安全和保护功能，如安全地线和四个压力表指示器，确保用户和资产的安全。此外，该模型的防污染模块利用可更换的碳过滤器来保护目标表面免受污染和氧化。总体来看，603溅射设备是薄膜精密溅射的先进工具。其模块化设计和广泛的功能允许各种可定制、经济高效和高性能的涂层效果。