二手 MRC 603 #9082895 待售
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MRC 603是一种用于一系列专业行业的溅射设备。该系统由几个组件组成,允许金属膜同时沉积在基板上。其主要部件是研发溅射工具,由三极管磁控管式阴极和阳极组成。阴极上装有钛、铬、铝合金crucibles。金属被加热到溅射温度,产生被引导到基板上的高能离子。与溅射工具一起,该单元包括蒸发器锥体和真空室。蒸发器锥体用于将一种小的非金属化合物如硅或氧气带入真空室,并将其蒸发到基板上。真空室用于维持低压环境,以提高沉积速率。603还具有许多增强溅射过程的功能。阳极设计为独立控制阴极的快慢电源,让你微调沉积速率。此外,机器还配备了微压计,可以在室内精确控制压力。包括射频发生器,将功率引导到磁控管阴极,从而加快溅射速率。最后,有一个可配置的快门来控制薄膜上的沉积速率。MRC 603通过广泛的材料选择和可调参数实现了极好的均匀性和可重复性。这种工具对于大规模生产或在各种不同的基材上获得专用涂层特别有用。它还以低功耗着称,使其具有成本效益和环保。所有这些特性使603成为各种行业理想的溅射资产。
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