二手 MRC 603 #9286006 待售

MRC 603是专门为大规模生产薄膜材料而设计的高性能溅射设备。这种集成腔室非常适合太阳能电池生产、柔性OLED设备和平板显示器等应用。该系统包括一个紧凑的溅射源、高达160度扫描范围的电动旋转目标扫描仪、具有可调功率和可编程设定点的射频/直流电源、基板加热器、温度控制器和气体分配歧管。高功率射频/直流电源可实现高沉积速率和均匀的溅射沉积到基板上。电动旋转目标扫描仪可以精确控制沉积区域，并提供各种可定制的基板尺寸配置。此外，温度控制器和基板加热器保证了均匀的温度分布，从而实现了更高质量、更均匀的膜沉积。603配备了设计精良的真空单元，具有创新的涡轮基础设计、坚固的气体密封和高品质的模块化部件。这允许工艺室压力范围为10E-7到1000毫升，高速泵降循环时间。该机还包括可靠的质量流量控制器，确保准确的气流和压力调节。直观的用户友好触摸屏菜单工具使编程和调整参数变得容易，并实现配方设置和从多个来源传输。远程诊断功能提供实时监控,并允许流程技术人员跟踪流程状况。MRC 603可靠可靠的机械设计符合工业过程中的最高标准安全协议,如EMC法规遵从性。603 Sputtering Asset具有可靠和卓越的性能,专为无故障运行和最小维护而设计,为大型生产运行提供了卓越的价值。