二手 MRC 643 #193489 待售

MRC 643是MRC有限公司设计的多功能溅射设备。它利用双源磁控管直流电源将金属或氧化物沉积在基板上，非常适合广泛的应用。该系统还提供三个独立的目标，其组合目标面积最大为800mm宽，并且可以接受直径最大为6"的晶片和直径最大为200mm的基板。643单元允许同时溅射单目标和多个目标，以提高生产率，并进一步使多层薄膜沉积。该机还具有可编程参数如直流电压、气体控制和腔室温度的综合工艺控制单元。此外,该工具还允许轻松调整流程参数,以适应每个应用程序的特定要求。在安全性和可靠性方面，MRC 643设计具有多种安全特性，包括内置控制资产和20元气体监测模型。设备还包括三重显示器和一系列警告灯，提醒操作员注意任何故障或严重情况。643是一个高效、健壮的系统，非常适合各种溅射沉积环境。凭借其先进的安全特性、多重溅射目标以及沉积复杂层的能力，该单元非常适合薄膜太阳能电池、生物材料涂层、集成电路涂层等应用。此外，凭借其控制单元和可调节的工艺参数，机器能够处理多种材料的简便和准确的一系列不同的应用。