二手 MRC 643 #83146 待售

MRC 643是一种多室溅射设备，设计用于通过物理气相沉积（PVD）沉积薄膜。这种先进的沉积系统为各种客户提供可靠和可重现的PVD工艺。643有六个加工室：三个装载锁、一个转移室、一个装载室和一个生产室。特殊合金结构，从不锈钢和阳极氧化铝，提供了极其耐用和一致的腔壁表面，以支持优越的沉积效果。该装置还包括一种独特的有源腔泵送技术，能够为各种应用提供快速、高效的工艺。这台惰性超高吸尘机结合了五个独立的真空泵，如涡轮分子泵和扩散泵，以精确、稳定和安心的方式控制每个过程中的压力。所有六个腔室分开，可以分别清洗和精确处理，同时保持压力和真空。载荷室和转移室也有一个载荷锁，允许在载荷室被占用的情况下发生不同的过程。生产室配备了多种工艺技术部件。它有一个40 kW的电容耦合RF （13.56 MHz）发电机，旨在快速增加电源而不引起电弧过度。有两个20英寸的溅射电源用于产生高功率电平，两个2英寸的电源用于降低供电和溅射清洗。18目标4英寸聚类工具为各种应用提供了灵活性,同时具有多种反应性离子蚀刻（RIE）和物理气相沉积（PVD）功能。MRC 643的专有设计降低了溅射工具的复杂性。源的对齐以及从单个点控制源的能力简化了维护和操作过程。整个资产易于集成到现有的生产设施中，有助于提高生产率和效率。综上所述，643是一种设计用于通过物理气相沉积（PVD）沉积薄膜的高性能多室溅射模型。拥有六个腔室，一台40 kW射频发电机，两个20英寸溅射电源，两个反应性离子蚀刻（RIE）和物理气相沉积（PVD）功能，非常适合多种应用。此外，有源腔泵送技术确保了快速高效的过程，而专有设计简化了维护和操作程序。这种先进沉积设备的所有这些特点使其具有很高的可靠性和可重复性。