二手 MRC 643 #9227515 待售

MRC 643是由Mechanochem Research Corportion（MRC）公司制造的溅射设备。该系统专为研究和工业应用而设计，能够将各种材料的沉积物溅射到基板上。643单元包括电源、工艺室、目标溅射枪和基板支架。电源用于为目标溅射枪供电，并提供了适应直流和射频溅射过程的灵活性。该工艺室旨在为各种沉积材料提供最佳溅射条件，确保膜的均匀性和可重复性。目标溅射枪利用较低的初级电子能量，将等离子体损伤及相关的充电效应降至最低。基板支架是可调的，允许更大的控制过程。MRC 643机还配备了机器人工件搬运工具，可重复性和灵活性。它具有用于自动样品安装和卸载的高精度机械臂,并具有适应各种基板尺寸的灵活性。该机器人设备提供精确的定位和精确的底物温度控制，允许最佳膜质量。643型号还配备了先进的多区气体输送设备，设计用于保证溅射沉积过程中薄膜密度和轮廓的均匀性。气体输送系统提供了同时处理多达四种气体的灵活性，还结合了压力控制单元和气体流量调节机制，以达到最佳性能。此外，MRC 643机为用户提供了高度优化的工艺环境，采用先进的诊断和控制工具，主动监控溅射工艺参数。内置的计算机资产用于监视模型过程（温度、压力和电力）以获得一致的溅射结果。设备提供交互式图形用户界面（GUI），便于操作。总体而言，643是一个可靠且易于使用的溅射系统，对溅射沉积过程提供了良好的过程稳定性和精确的控制。该单元提供人性化操作，适用于工业、研发应用。