二手 MRC 662 #9248464 待售

MRC 662是来自Speion Technologies的最先进的高性能溅射设备。它旨在提供一系列金属和介电材料在大型基板上的自动、精确和高效溅射。它采用模块化设计,可实现材料、工艺和配置的高度通用性。662的工件室直径400毫米，高度200毫米。它装有两个静电卡盘，由一台20 MHz的发电机操作，用于在溅射时固定工件。该腔室可承受高达5.33x10^-7 Torr的真空载荷和150至420°C的工艺温度。工件腔室的转盘设计允许在电极在三轴内移动时均匀运动,以实现精确的溅射沉积。MRC 662提供了多种溅射过程，包括磁控管溅射、直流电和射频溅射以及差分溅射。为了获得最高的精度和可重复性,溅射系统具有数字厚度控制器和过程监控功能.它还使用户能够在一个周期内对最多8个溅射操作进行编程。集成单元还配备了可编程的气体输送机，在溅射过程中监视和控制溅射气体流动。还包括一个自动、无线电频率驱动的介质去捕获和基板清洁工具。此外,662还提供了许多安全功能,包括前后联锁、紧急停止按钮和火灾警报资产。溅射模型集成了射频屏蔽，以消除对附近电子的干扰。总体而言，Speion Technologies的MRC 662溅射设备是在大面积基板上实现金属和电介质均匀、可重复、精确薄膜的完美工具。通用、自动化的系统在设计时考虑到了安全特性和便利性,使其成为满足任何高精度溅射需求的理想选择。