二手 MRC 662 #9265336 待售

MRC 662是一种功能强大、灵活的溅射沉积系统，专为广泛的研究和工业应用而设计。它是为超高精度薄膜和金属涂层设计的紧凑真空工艺室。腔室维持在低压状态，以避免在溅射过程中沉积物料氧化。该系统采用了将强力离子轰击与均匀溅射沉积相结合的弧型阴极。这样可以实现高沉积速率,同时提供出色的涂层均匀性。腔室为多灯，全石英结构，圆形图桉为8 RF天线。它通过可调的工艺存储模块提供了工艺一致性,该存储模块旨在实现最大的灵活性。可调腔鼓风机保证低二次电子发射和沉积均匀性.该室还具有独立升降和旋转的集成可移动目标定位器。这允许配方控制各种目标，都没有打破真空。其他功能包括用于监控过程参数的集成测量和诊断模块,以及用于样品传输的全自动机器人喷射器。662还包括一个接入端口，以实现内部和外部电极的制造，并提供出色的激光标记能力。它还与许多气体控制器兼容，用于广泛的涂层和表面处理。MRC 662自动溅射沉积系统是各种薄膜沉积应用的最佳选择。它为研究和工业应用提供了强大而精确的薄膜和金属涂层。其强大的功能包括可调节的均匀性工艺室、可移动的目标定位器、集成的诊断模块以及用于样品传输的机器人喷射器。它的灵活性和便利性使它成为任何希望改进涂层工艺的研究人员或制造商的理想选择。