二手 MRC 693 #9179537 待售
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MRC 693是为等离子体增强沉积过程而设计的紧凑型溅射设备。它是一个三区溅射系统，具有一个翻转负载锁和一个集成的预疏散室。该装置采用标准的300毫米（12英寸）基板支架,带有适合用途的波纹管组件,最多可支撑8个直径可达114毫米（4.5英寸）的目标。一个紧凑的工艺室配有400S系列溅射电源和为高沉积控制和基板均匀性设计的ICP射频（RF）电源。该腔室还具有圆柱形、可倾斜、真空外载荷锁定功能，便于基板载荷和卸载，以减少循环时间。693的底压由于其直线运动的O形圈密封机和整体冷却加热系统而非常稳定。其气体处理工具包括入口冷却资产和气体循环模型。涡轮分子泵是其主要的真空泵，它允许设备在2700升/秒的涡轮转速下达到10^-7托的工作压力范围。MRC 693使用高度直观的用户界面进行控制和监控。它使用户能够自定义和自动化操作参数,并有效地优化流程。基于触摸屏的界面还允许对溅射功率、沉积速率和射频功率进行精确调整。它的智能反馈控制环路确保了系统的高精度和可重复性。作为一种安全措施，该装置被安置在两层钢制机柜中，以防止任何有害的X射线。机器还配备了一个安全开关，在任何紧急关机情况下切断设备的所有电源。总之，693是一种高度通用和节能的溅射工具。它的可靠性和直观的控制使得它成为各种溅射过程的完美选择。
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