二手 MRC 822 #293604301 待售

MRC 822是一种用于将材料溅射到基板上的高性能沉积设备。它是一种先进的设备，设计用于半导体工业，允许沉积高产率的正负电荷载流子。该系统包含四把主动溅射枪，可以配置为启用多层沉积。该室由不锈钢制成，可提供高达1.0 x 10-6 torr的真空密封外壳。其方向为水平，工作直径为300毫米。它使用易于使用的图形用户界面（GUI）进行控制,并具有直观的导航单元。机器可以手动、半自动和全自动模式操作，使用户能够在需要时配置和控制沉积参数。基板的位置是可调的，可以围绕x和y轴移动。可以在沉积过程中监测被溅射材料的温度，并将其精确地保持在预定范围内。822在高压差速器下运行，最大压力为1.0 torr。为确保物料均匀沉积到基板上，将溅射枪配置成一定角度，形成均匀的溅射环境。这有助于降低由于充电效应而导致基板变形的风险。MRC 822提供了可靠的操作和优异的溅射产率，适用于将材料溅射沉积到硅片、基板以及其他工程和科学材料上。它是先进半导体器件沉积的理想选择，如微电子、光伏和微光学。