二手 MRC 8620 #293638700 待售

MRC 8620是为高吞吐量应用程序而构建的一种全面而强大的溅射工具。这种多用途设备包括几个溅射源，能够在大小基板上生产高质量的薄膜。该系统具有一整套等离子体过程能量以及硬件和软件组件,旨在最大程度地提高生产率和过程可重复性。8620是一种全自动溅射装置，由一个低矮的模块化溅射室、宽敞的负载锁定区域以及最多四个独立操作的直流或射频溅射源组成。每个源可以同时容纳矩形和圆形磁控管，总共可容纳八个磁体。铁磁基板可以使用多种材料（包括金属、陶瓷、聚合物和绝缘体）进行阵列设计，采用基于光学的溅射、热蒸发或多目标溅射。该室包括一台原位擦膜机，在多目标溅射操作中有效地将薄膜从目标转移到目标。先进的刀具控制器提供对所有溅射参数的控制，包括温度、压力、泵速、气流、偏置电压、溅射电压等等。除了通过图形界面进行实时过程监控外，资产还配备了多种保护功能，使操作员能够例行设置所需的沉积参数，而不会损害薄膜的均匀性或损坏基板。MRC 8620的大型晶圆载荷锁室可容纳多达8个6"/8"基板或多达4个8"/12"基板同时装卸。该模型还配备了室内旋转阶段，允许在整个平面表面上进行均匀处理。总体而言,8620的多功能溅射平台为用户提供了覆盖范围广泛的应用的灵活性,从薄膜太阳能电池到触摸屏和MEMS设备。结合其可靠和高效的设计,此设备可以成为任何以生产力为中心的实验室的宝贵资产。