二手 MRC 8667 #293655700 待售

MRC 8667是一种紧凑的射频磁控管溅射设备，用于生产精确的薄膜涂层。它专为在直流（DC）供电环境中运行而设计,具有多种功能,可提高应用程序的质量和统一性。8667适用于多种类型的应用，从通用的薄膜涂层，到专门的纳米级沉积，甚至是与硬质涂层和保护层相关的高级涂层应用。它旨在处理具有挑战性的底物，如金刚石状碳（DLC）和昂贵的低k介电膜。MRC 8667由一个带有密封钟罩的工艺室和一个最多可支撑五个不同阴极的能力以及各种基板和其他必要设备组成。最大工作压力高达10托，底温为-10°C。温度由PID控制器控制，过程气体通过质量流控制器（MFC）引入。腔室的其他特点包括石英观测窗口、冲洗端口和静电卡盘，用于在加工过程中固定基板。该系统还包括一个集成射频（RF）电源，能够溅射高达3 kW，提供比较大面积基板质量更高的均匀涂层。电源还支持不同沉积过程的运行，附加了磁控管旋转和脉冲操作等选项。此类选项提供了选择性可调节的功率水平,以更好地控制胶片的质量和结构。它还有一个数字监测单元，用于监测工艺条件，并提供每个涂层作业所用参数的可追踪性。8667还具有先进的诊断能力，如具有原位诊断功能的MRC Resolve™测量机，提供了在工艺室运行条件下沉积的薄膜的高精度测量。这有助于研究人员实时测量底物，同时研究沉积条件和薄膜的性质。此外,此工具还能够控制操作配置文件,并提供不同处理步骤之间的延迟时间。MRC 8667溅射资产为薄膜涂料的生产提供了诸多优势。它提供了紧凑的模块化设计,可在工作流程中快速高效地进行安装。该模型易于操作，有几种控制工艺的选择，使得薄膜具有很高的均匀性和质量。此外，它因其可追踪性、车载诊断和低污染而受到重视，因此适合各种应用。