二手 MRC 8667 #9276506 待售

MRC 8667是用于材料沉积和表面处理的最先进的溅射设备。它配备了双可旋转滤波器通量和模块化电源。主要由一组溅射源、真空泵送系统、疏散压力测量单元和机器控制器组成。溅射源由弧室、石墨支架和静电栅格组成。弧室容纳溅射目标，并在疏散环境中密封，以确保持续高真空。石墨支架和静电栅极大地改善了电弧室的均匀性和能量管理。真空抽水工具确保压力持续低到足以发生溅射和沉积。由旋转叶片泵、涡旋泵、离子泵、涡轮泵等一系列泵组成。这些泵是串联的，并根据需要提供适当的疏散参数。利用排空和压力测量资产精确测量弧室内的压力，并相应调整泵送模型。溅射设备使用控制器操作,该控制器管理目标选择、电流、温度和压力等所有参数。设置参数以确保所需的材料沉积到基板上。控制器还对所有参数进行连续监控，以保证一个始终如一的高质量过程。整个系统配备了紧急停机、限流、液压制动等安全功能。8667是一种多功能溅射装置，能够以高质量、高精度沉积多种材料。它具有广泛的功能和能力，使得它适合从真空薄膜沉积到半导体和电子加工等多种应用。