二手 MRC 902 #293631817 待售

MRC 902是一种用于将薄膜沉积到基板上的溅射设备。能够生产具有高度均匀性和控制性的高精度薄膜。该系统包括离子源、真空容器、电源和样品支架。902的离子源是一种高电流、低排放辉光放电（GD）源。这种光源能够产生能量范围广泛的光束，允许使用者量身定制光束的能量，以产生所需的薄膜厚度、组成和形态特性。GD源也有一个可调的自偏置，允许使用者在溅射过程中控制离子电流。MRC 902中的真空容器是具有调压单元的不锈钢腔室。这样可以确保在受控真空环境中进行沉积。该容器装有几个用于溅射所需气体的入口/出口端口。这些端口的设计便于安装和维护。902的电源是高压直流（DC）发电机。该发电机能够产生0-250 A之间的电流，允许用户为特定应用量身定制输出功率。该机还包括一个感应涡流监测器，用于不断监测基板温度。最后，MRC 902包括一个高精度的样品支架。该支架允许用户在真空下精确终止基板，确保沉积过程中性能良好。样品支架也可以调整，以控制基板的角度位置，并适应各种基板尺寸。综上所述，902溅射工具能够生产出具有出色均匀性和控制性的高精度薄膜。资产包括离子源、真空容器、电源、样品持有者和其他功能，使用户能够为特定应用量身定制沉积过程。