二手 MRC 902 #9400745 待售
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ID: 9400745
In-line sputtering system
Missing parts:
Elevator pallet stand
Pallet carrier
Chamber shields
(2) Cathodes
DC Power supply
Convectron gauges for foreline and chamber
Miscellaneous port adapters and switches.
MRC 902溅射设备可用于各种需要沉积薄膜和纳米级涂层的研究应用。它是一个大面积的基底沉积系统,能够处理大小不超过600x600mm的基底。902有环境毯室;内部衬有空气消声双层结构,在溅射过程中最大限度地减少声音和消除振动。此外,所有腔室硬件都作为一个完整的组件进行密封,并受到全方位安全门的进一步保护。MRC 902具有可调的平面磁性和射频内部线圈,提供卓越的溅射均匀性和质量层沉积。溅射目标定位在板旋转轴的中心,并被氙气包围,使得有多个反应性溅射过程成为可能。902还具有种类繁多的溅射选择的阴极与可更换段和可调支撑杆,允许定制曲线和沉积剖面。MRC 902还配备了自动批处理接口,可以让用户轻松编程沉积参数。此外,它还支持计算机控制的配方,可以重复这些配方以产生一致且可重复的结果。ABF还包括一个内置计时器,允许精确的时间和精确的气流控制,允许对沉积条件进行精确的控制。902提供了一个外部控制的扫描多轴运动和基板旋转,以确保精确的基板沉积。它还配备了沉积后源疏散单元,具有可定制的疏散时间,可以改变以适应不同的底物和薄膜。总之,MRC 902是一种先进的溅射机,可用于将高质量的薄膜和层沉积在大小基板上。它可靠、高效,对沉积参数和基板定位提供精确控制。902提供出色的溅射均匀性、声学效果、减振效果,极易操作。
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