二手 MRC 902M #9199362 待售

MRC 902M是一种全自动溅射设备，其设计具有精确控制溅射沉积以及卓越的维护和安全特性。它具有三个高度可调磁控管源的平行布置。其宽大的腔室、广泛的工艺灵活性、清洁度和可及性使其适合各种材料的研发，包括金属、陶瓷或复合材料。902M有一个带有两个直径为150毫米（6英寸）的阴极和一个直径为100毫米（4英寸）的阴极的工艺室。每一个对于磁铁的高度、入射角、旋转和磁场强度都是独立调节的，可以容纳各种材料和不同厚度的薄膜。磁体结构是可调整的，以优化存在角均匀膜覆盖和脉冲控制沉积速率。该工艺室的设计包括一个超净负载锁、双疏散阀、镇流器瓶以及保护内部免受污染物污染的腔室门。5口排气系统提供快速抽水和高压均匀性。该单元配备了强大的机器操作控制控制台，允许用户配置复杂的流程，在工具运行时调整参数，实时监控资产的多个方面。它具有用户友好的界面和强大的在线监控、报警和诊断功能。此外,可编程PID控制器允许使用用户定义的设置进行自动操作。MRC 902M是一种多功能的溅射模型,具有卓越的安全特性.这些特性包括高温报警器、防止高压/低压误差的压力控制联锁以及处理热报警器。高效过滤设备由99.97%高效HEPA过滤器、可更换碳过滤器和预过滤器组成。902M是一个通用可靠的溅射系统，可以精确控制材料的沉积。其强大的功能和易于调节的设置使得该单元适合广泛的研发应用。