二手 MRC 903 #293824914 待售
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ID: 293824914
Sputtering system
(3) Cathodes
Load lock
Programmable HMI/PLC System
RF Etch power supply
Lines
(8) CTI Cryopumps
CTI Compressor
Dual stage mechanical pump
Touch screen controller.
MRC 903是为精密涂层和表面工程设计的大型、强大的溅射沉积设备。主要用于薄膜和层的沉积,如玻璃、金属、陶瓷等在多种基板上。该系统利用一种特殊的溅射过程,是一种依靠高能电场将原子和分子沉积到物体表面的离子束沉积过程。大腔室及其精密控制和自动化装置使903成为精密涂层应用的理想选择。MRC 903是围绕一个大腔室建造的,在真空气氛中运作,以保持环境中没有污染物,否则会干扰保形涂层和精确的层厚度。这台机器带有可定制的腔室配置和真空功能,因此可以根据用户的特定需求量身定制。先进的控制、自动化和精确的压力调整使此工具变得如此精确和强大。903还具有一系列强大的组件和工具,如用于沉积过程的离子源、用于精确和可重复涂层的电子束加速器、压力控制资产、用于固定基板的静电卡盘以及集成真空模型。所有这些组件协同工作以确保有效和准确地完成溅射过程。为了最大限度地提高精度和可重复性,MRC 903还配备了先进的自适应控制设备,可以根据客户的要求调整溅射过程的参数。该控制系统可用于微调薄膜厚度,调节功率水平,确定溅射材料的种类和浓度。最后,这一单元还提供了多项先进的安全和质量控制功能,如集成的自动化质量控制和数据收集软件,以及为保护操作员和环境而设计的内置灭火机。总体而言,903是一种强大而精确的溅射沉积工具,非常适合精密涂层应用。凭借其坚固、定制的腔室配置、直观、自动化的控制和安全特性以及先进的自适应控制资产,该型号是任何精密涂层项目的绝佳选择。
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