二手 MRC 903 #9241895 待售

MRC 903是Advanced Energy开发的溅射设备。它是物理气相沉积（PVD）过程中常用的高性能系统。设计方便精确涂层和薄膜沉积。903具有单室设计。腔室由铝构成，采用高精度固定磁控管直流或射频电源供电。电源由数字控制，可输送20W至40千瓦功率。该装置能够用多种材料进行精密涂层和薄膜沉积，包括金属、电介质、有机化合物和稀土。溅射机具有各种可调参数，如气体压力、压力和温度控制、目标材料和操控、偏置电压，对于均匀的薄膜厚度和均匀的沉积。该工具还配备了能够达到300 °C的多区域基板基板加热器。这使得资产能够在不同的温度下运作，允许更深的渗透到基板中。MRC 903对目标物料的精确控制和处理是由双源机制（DSM）实现的。它旨在促进在宽阔的基质区域内高速率沉积厚膜变化。这是通过允许部署多个独立的源来实现的,各个源可以沿着三个轴移动。903还提供了一个独特的均匀沉积跨宽基板与聚焦二极管构造。它具有独特的三轴映射模型，以提高沉积在整个操作范围内的熟练程度。这对于在具有细线特征的深沟或凹槽中精确涂层任务非常有用。该设备还配备了先进的基板目标定位系统，以确保在多个基板上均匀沉积。这种可调臂单元允许精确调整，并设计用于需要基板由四个角安装的应用。MRC 903是一款高效、可靠、用户友好的溅射机，非常适合多种应用。它是一个强大的工具，能够精确涂层和薄膜沉积，它提供了优越的膜均匀性和可重复性跨越宽基板区域。