二手 MRC 903 #9242553 待售

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製造商
MRC
模型
903
ID: 9242553
Sputtering system Includes: Chamber (3) targets Heating station (No lamps) Load-lock Lift Movements (Except motor and carrier) Diffusion pump Vacuum valves Gas distribution (So So) ADVANCED ENERGY 15 kW DC Power supply Does not includes: Gas pipes Primary pumps Gauges Movements automation.
MRC 903是一种溅射设备,设计用于将薄膜材料沉积到表面上,以制造薄膜结构。该系统由真空室、真空泵、溅射枪、自动载荷室和计算机控制的溅射电源组成。903有一个集成的旋转叶片泵,以维持真空室内的低压。泵连接到腔室入口,以便在大气压下疏散空气。腔室可以将腔室中的气体排空到1x10-6 torr。这使得大量的材料和基材得以加工。腔内的溅射枪用来将胶片从目标材料溅射到基板上。溅射能量是由真空室内的目标材料负充电以及发射高能离子的喷射器喷枪产生的。溅射过程在基板上产生沉积材料的薄膜。为了使生产过程最大化,MRC 903采用了可容纳多种基板的自动加载室。一旦基材在室内就位,溅射过程就开始了。腔室被疏散到合适的压力,并使用计算机控制的溅射电源为目标材料提供必要的动力。一旦膜沉积,底物可以移动到蒸发器,以便加热。蒸发过程产生均匀的薄膜,然后转移到冷却室中冷却。膜一旦冷却,就准备用于多种应用。903有一个集成的计算机单元,可以对整个溅射过程进行编程和监测。该工艺可根据各种基材、薄膜和应用要求进行定制。这使得在高沉积速率下以高精度和均匀性沉积多种材料成为可能。MRC 903是一种高效的溅射机,为用户提供精确、可重复的薄膜沉积。先进的计算机工具允许对工艺进行全面定制,确保了高质量和均匀的薄膜沉积。该资产适用于各种材料、基材和应用。
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