二手 MRC 903M #9166595 待售
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MRC 903M是由MuRata Machinery Ltd设计制造的高度通用、可靠的溅射设备。是一种先进的溅射工具，适用于在硅、铜、玻璃、聚合物、低k材料等多种基材上的精密清洗、蚀刻、沉积和薄膜加工应用。它由三个主要组成部分组成：一个精确控制的真空室、一个专门设计的气体歧管和一个机器人样级运动控制系统。MRC 903 M真空室的设计实现了高度的机械、热、真空稳定性，极限压力为1x10-6 Torr。温度控制的加热部件可以维持在-25摄氏度至+150摄氏度之间的均匀温度。该腔室还设有一个高纯度、低放气的不可蒸发吸气泵，它可以清除不可冷凝气体并防止样品污染。903M经认证可与各种加工气体兼容,包括高纯度Ar、He、O2、N2、NF3、CF4和其他特殊气体。气体歧管单元有效控制溅射过程中使用的不同气体的流量、成分和压力。有单独的气室用于充气和惰性气体，以及一个用于调节压力的旁通阀。气体控制阀定位准确，能够对气体流量进行精确调节。这使得903 M能够精确控制不同基板的沉积轮廓和层厚度。MRC 903M机器人试样台预装双轴试样架和机械夹紧机。它具有X轴和Y轴运动的高精度直线电动机，允许精确定位和非常平滑的运动模式。此外，对于不同的阶梯覆盖角度，样品支架可以旋转180度，以实现更好的涂层均匀性。总之，MRC 903 M溅射工具是一种用途广泛、技术先进的精密薄膜涂层应用工具。它包括一个精确控制的真空室、一个动态平衡的气体歧管和一个高精度的机器人采样级运动控制资产，使其成为高精度清洗、涂层和蚀刻过程的理想选择。
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