二手 MRC 943 #293627993 待售
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MRC 943是一种溅射设备,利用先进的基于磁控管的技术将材料薄膜沉积在不同的基板上。它是一种数字PVD(Physical Vapor Deposition)工具,提供了一种简单、经济高效的材料薄膜沉积方式。该系统具有专门设计的eVance™技术,以极低的材料成本以较高的沉积速率沉积材料。943是利用两个磁控管溅射模块的多室单元,设计用于生产金属、氧化物、硅化物、碳纳米管等不同类型的薄膜。该机采用非接触式基板传递工具,实现了连续操作,实现了出色的表面均匀性。它配备了智能控制模块和数据记录能力,允许最大限度的过程控制和优化。它有两个用于沉积薄膜材料的溅射目标。目标安装在腔室内,呈圆柱形。靶子由铝、不锈钢、的等固体金属制成。目标具有很高的电阻率,使其能够生产出低沉积率的优质薄膜。MRC 943资产配备了感应耦合等离子体源,创造了一个高度精确和可重复的溅射过程。等离子体源也有一条具有可调电源的高压线,对等离子体能量提供精确的控制。943具有内置的高速动态功率控制模型,可自动编程过程参数,包括基板温度、电压和压力。它还具有自调模式,使设备能够自动调整工艺参数,以优化膜沉积工艺。该系统还配备了原位膜厚度监测器和可选的用于膜表征的电子光谱仪。这样可以更准确地监测沉积过程以及分析沉积膜。该单位是一个可靠、全自动和方便用户的单位。它是一种多功能机器,可用于各种应用,例如用于光学、电气、机械和生物医学应用的薄膜沉积。MRC 943是满足当今PVD需求的有效、高效和可靠的工具。
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