二手 MRC Mark II #9269893 待售

MRC Mark II是由MRC Technologies开发的溅射设备，用于广泛的行业和应用。它是一种多组分蒸发系统，能进行溅射、薄膜沉积和热蒸发。Mark II可容纳各种溅射阴极、目标材料和尺寸,具体取决于所需的终端应用。它是一个具有环境压力的闭环单元，能够维持广泛的工艺参数。MRC Mark II具有耐用和耐化学的6毫米厚的不锈钢室，以及两个0.5英寸厚的石英视窗和百叶窗，以协助监测沉积过程。一个带有基板支架的旋转穿梭可以方便地在工艺模块之间转移。其先进的多级过滤机防止了工艺室的污染，保护溅射目标不被氧化。Mark II能够在真空或大气中进行多层沉积。它的升降机允许在不均匀的样品表面上均匀沉积，其可变电源对离子能量进行精确控制，使其能够沉积金属、氧化物和氮化物。它的等离子源电源控制离子轰击和溅射速率，而它的12位旋转台在过程之间快速传递样品。MRC Mark II也有能力用于各种沉积实例组合。例子包括射频/直流溅射、磁控管溅射、离子束溅射、物理沉积和热蒸发。它可以与多种沉积源结合起来，形成一个腔室，成为一个IBS-RF溅射工具，例如，允许在多种基材上沉积的超薄膜和多层膜。其现代的控制和监测特点包括实时过程和温度监测、过程诊断、可变气体净化率控制。这可以对整个过程进行精确的监控,并可以重复执行高质量薄膜的参数。Mark II是实验室和生产设施需要薄膜沉积以用于各种应用和材料的理想解决方桉。