二手 MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse #9238094 待售

MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse是一种用途广泛的溅射设备，用于各种薄膜应用，包括半导体和介电器件的制造。它具有独特的双枪设计，利用两个独立控制的电子枪在同一个溅射室中，使多种薄膜材料在一个过程中的高精度和高度可重现的沉积。电子枪位于腔室的相对两端，MRC Eclipse的功率特征可以用两个集成电源精确控制，这两个电源允许微调每种目标材料的沉积速率和材料层之间的沉积速率比。MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse还具有精确的沉积控制系统和获得专利的线性运动进纸器单元，为单层或多层应用提供了出色的跨基板均匀性。该机包括多种薄膜沉积技术，如磁控管溅射、低温氘等离子体沉积，还允许具有高分辨率旋转靶的大功率脉冲等离子体沉积。旋转靶提高了大面积基板上薄膜的均匀性，而等离子体脉冲频率提高了沉积速率，提高了工艺的可重复性。此外,半球形源选项为Eclipse的功能提供了额外的多功能性层,允许特定于底物的自定义溅射过程。MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse的多功能性因其能够容纳广泛的基板、目标和设备元件，以及与主要薄膜设备制造商的工艺工具的兼容性而进一步增强。MRC Eclipse还提供了广泛的自动化功能,以提高过程的可靠性和控制。流程界面包括手动和可编程模式，通过脚本实现全过程自动化，以及用户友好的图形界面，方便配方设置和控制。MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse结合了所有功能,提供了无与伦比的溅射功能,可用于高精度的设备制造。