二手 MRC Planar #129081 待售

MRC Planar是一种高性能溅射设备。它利用平面磁控管源从目标材料到基板上产生沉积。该系统旨在产生均匀、可重复和精确的薄膜沉积。该单元由磁控管溅射源、真空室和电源组成。磁控管有一个平坦的目标，背面有永磁，表面靠近基板。目标由真空室固定在适当位置，该真空室将室内大气与目标材料隔开。电源为磁控管提供必要的电压和电流。对电压和电流进行了优化，以获得所需的溅射速率。磁控管溅射源由内部磁场操作。这会产生电离的粒子，然后向目标加速。当粒子撞击目标时，它们以热量的形式传递能量，使目标物质溅入真空室。电离的粒子以可调节的速率在基板上加速，这对于正在制造的装置是优化的。真空室是一个密封玻璃圆筒，有气体入口，由外部真空泵控制。它用于将腔室大气与目标材料分离，并防止来自外部来源的污染。该机用途广泛，适用于高性能器件的薄膜沉积、太阳能电池、显示器等多种应用。它非常高效，提供了与其他技术难以达到的统一覆盖范围。此外，其坚固的结构和模块化设计提供了一个可靠和可重复的薄膜沉积过程。该工具可以针对特定的应用程序进行定制,并为各种材料提供高效的溅射。它可用于各种涂层工艺，对沉积速率和均匀性给予高度控制。