二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II #9210090 待售

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II是一种用于开发和生产薄膜材料的溅射设备。它具有易于使用的触摸屏界面,用于设置和控制溅射过程。该系统是模块化的,可以配置为满足不同的需求和生产要求。它具有多种目标尺寸、圆顶配置和电源,以实现最佳的过程控制和生产。MRC Eclipse Star Mark II单元的设计考虑到了效率。自动化机器实现了同时溅射过程和更大的生产吞吐量。喷嘴设计和腔室构造减少了工艺周期时间，而即插即用的盒式磁带使操作员能够快速轻松地装卸目标。自动化进一步提高了产量和吞吐量,同时允许操作员对其他任务执行多任务。为了确保过程的可重复性和可靠性，TEL Eclipse Star Mark II使用了高纯度的电离气体，并保持了洁净室环境。该工具能够以极高的沉积速率获得高质量的溅射薄膜，比遗留系统高出两（2）个数量级。这种高沉积率是满足先进应用要求和推动过程效率提高的关键。为了进一步推动生产和工艺效率的提高，TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II资产具有独特的现场测量和控制能力，使用IBS探测器和均匀性传感器。此功能提供了对过程的高级反馈和控制,从而可以更好地监视和优化过程。该模型还提供了预测和自适应的过程控制功能,有助于减少过程变化。最后，Eclipse Star Mark II提供安全功能以保护操作员和周围环境。它有电离气体检测系统、用于防止开弧的安全盖和封闭式联锁装置、用于清除颗粒物污染物的排气设备以及用于保护操作员安全的缓弧装置。该系统还包括真空排气装置，以防止污染和减少废气排放。最后，MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II是一种为高通量生产薄膜材料而设计的溅射机。它具有自动化的过程控制工具、高级反馈和控制功能,以及用于操作员保护的安全功能。其独特的功能可实现高效、可重复的溅射过程,满足最苛刻的应用程序要求。