二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9108496 待售

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star是一种溅射设备，旨在为各种材料提供优越的沉积。该系统的独特功能允许改善金属溅射目标的均匀性和均匀覆盖，以及电介质、金属氧化物和氮化物的均匀沉积。MRC Eclipse Star是一种双枪直流溅射装置，专用等离子体清洗。它具有用于退火和热处理的高温钟炉，以及能够达到10-7帕的基本真空的高真空能力，这使得它适用于涉及气体和液体的各种过程，以及溅射和蒸发过程。主要部件为双枪溅射源、高温钟炉、等离子体清洁器、电子束蒸发源、高真空泵机。溅射枪通过向目标材料加速一束带正电荷的氙原子起作用，导致溅射。每支溅射枪后面有一个强大的磁铁阵列，作为的引导物，导致目标材料的均匀覆盖。高温钟形炉可用于在最高1200C的温度下对晶片基板进行退火或热处理。这样可以在处理III-V和II-VI材料时更好地控制晶体结构和掺杂剖面，以及在使用金属时提高产率。此外，加热炉和溅射枪的组合可以提高沉积厚度的均匀性和大面积的均匀性。TEL Eclipse Star是一种可靠且经过验证的沉积工具，专为需要高度均匀性和均匀覆盖溅射目标的过程而设计。它的特点允许各种材料的可靠沉积和改善膜的均匀性，使其能够在各种溅射应用中使用。