二手 NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9260884 待售

NEXX SYSTEMS Nimbus 304溅射涂层设备是一种独特的沉积系统,为研究和工业溅射应用提供高性能和最佳的灵活性。该单元设计独特，以满足大型和小型流程的要求，包括特定于应用程序的流程控制系统。Nimbus 304利用6 x 6英寸（152毫米）的腔室、高功率、高效磁控管溅射源和脉冲直流（PDC）电源，制造出均匀性、一致性、可重复性极好的溅射薄膜涂层。气体流速和压力、基板加热、源功率、目标电流、腔室压力和工艺腔室压力控制是可以调整的变量之一，可以精确传递所需的涂层材料和厚度剖面。高功率容量允许更高效的溅射沉积速率，PDC工艺控制技术降低了工艺变异性，提高了复杂薄膜要求的均匀性。溅射源设计用于所有标准溅射材料，包括隔离金属、氮化物、碳化物、氧化物和导电复合材料。NEXX SYSTEMS Nimbus 304通过使用先进的流程控制和监控系统提供了出色的流程重复性。该机器包括涂层配方和可定制开发选项的综合库,以帮助确保最佳性能和结果。直观的用户界面、触摸屏控制面板和集成的诊断程序使设置和自定义所有溅射过程变得容易。该工具还提供低温冷却，以实现更快的基板冷却和更短的冷却时间。冷却设备包括相变低温冷却,温度约为-100 °C。6英寸的腔室，加上低温冷却技术，大大减少了因冷却时间造成的溅射损耗，有助于确保高质量的可再现薄膜。Nimbus 304溅射模型还具有被动或主动泄漏检测、高级安全协议和个人防护设备等功能，以确保用户在处理过程中的安全。该设备还通过在线服务诊断和控制以及易于取用的部件更换提供了方便的维护。