二手 NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9289400 待售
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NEXX SYSTEMS Nimbus 304是一款采用先进技术设计的溅射系统,生产具有卓越膜均匀性的薄膜样品。它体积小巧,软件先进,是研究和工业应用的理想选择。该系统采用专利缝隙/板条技术,提供高精度和可靠的溅射工艺。它配有两个阴极和三个溅射材料来源。每个源都是独立控制的,允许高涂层吞吐量和精密薄膜。剪刀提升机构保证了高质量薄膜的平滑运动和最小振动。用户友好的界面可以方便地为不同的应用程序设置和配置。晶体产生处理器(CGP)和先进的过程控制系统为溅射过程提供准确可靠的控制。一个集成的真空室提供良好的真空条件和低背景水平的氧气和水分。Nimbus 304还具有高离子化集束光束(ICB)源,可为更受控制的沉积配置多达14个附加工艺参数。这包括用于沉积氧化物、氮化物甚至金属的原位加工。集成的软件套件还可以使操作快速高效。3 D Visualizer软件允许用户快速轻松地监控溅射周期。此外,软件还支持数据记录、数据存储和故障检测。NEXX SYSTEMS Nimbus 304具有可靠、高性能的溅射工艺,可轻柔地处理敏感的基板,并且易于配置为较厚的薄膜。其紧凑的设计和关键部件的板载集成保证了优越的薄膜沉积。
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