二手 NEXX / TEL / TOKYO ELECTRON APOLLO XP #9137393 待售

NEXX/TEL/TOKYO ELECTRON APOLLO XP是一种用于将材料薄膜沉积在基板上的溅射设备。该系统由带泵送单元的真空室、溅射沉积材料的来源和基板支架组成。泵机设计用于将所有空气从腔室中排出到所需的真空水平，为溅射沉积过程准备环境。采用两级涡轮分子泵来帮助确保达到理想的真空水平。一旦撤离，便用氮气清洗腔室，为沉积过程提供清洁稳定的环境。溅射沉积材料的来源通常是一层薄薄的金属或合金，然后将其汽化并沉积到基板上。物料来源通常包含在腔室内的一个熔炉内，然后加热到高温使物料蒸发。一旦汽化，材料就会被磁控管源喷出，其中利用电流产生磁场。这种磁场将汽化的材料喷射出坩埚，使其喷洒过基板。工具的最后一个部件是基板支架，用于将基板固定到位，并允许材料的准确和一致的沉积。基板通常由不锈钢或铜制成的夹具固定在适当的位置。这种夹具的设计是可调的，以容纳各种底物，也便于材料的精确沉积。这三个组成部分构成了TEL APOLLO XP资产，并在结合时提供了一种有效可靠的将材料沉积到基板上的手段。该模型能够以较高的精度和可重复性沉积金属和合金材料薄膜。这使其成为广泛应用的理想工具，包括光学涂层、半导体加工和医疗设备制造。