二手 NMC iTOPS A230 #293639723 待售

NMC iTOPS A230是NMC生产的先进物理气相沉积（PVD）溅射设备。它是为广泛的工业、商业和研究应用而设计的。该系统可以将金属和介电氧化物薄膜沉积在各种基板上，在生产具有精确控制水平的高质量薄膜方面提供优异的性能。溅射装置装在一个由不锈钢和铝构成的标准金属室中，盖子设计用来承受高温和压力。该腔室连接到一个屏蔽源腔室，该腔室装有磁控管溅射源，能够进行正负偏置操作。由直流电源供电的强大磁控管产生等离子体，用于将目标材料溅射到基板上。腔室装有高能螺线管供电的电源切换机，允许在不同的源之间切换，防止过渡误差。该工具配备了自动化的锁载进料资产，以确保在所有操作条件下顺利处理基板。它还包括一个高效的排气模型和强大的真空泵，能够维持高水平的真空条件沉积过程。通过设备的数字控制技术可以设置一整套过程参数，让用户准确、精确地控制溅射过程。为了监控运行过程中的性能参数，系统配备了光学和红外传感技术的组合。光学探测器阵列能够连续监测沉积速率、薄膜质量和薄膜厚度。红外探测器用于测量沉积膜的温度变化和化学成分。该单元还配备了先进的自动化层构图控制机器，可以精确控制层的构图。集成软件包使该工具特别方便用户,易于监控和控制。总之，iTOPS A230 SputteringAsset是一种适用于各种工业、商业和研究应用的先进模型。精密工程与先进技术相结合，为用户提供了对薄膜沉积工艺的完全控制，确保了薄膜质量可靠一致。