二手 NORDIKO 2550 #11208 待售
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ID: 11208
Metal sputtering systems
(4) Targets, 8"
Turbo loadlock
DC P/S
RF Generator
CTI Cryo pump
VME Controller
Cassette to cassette
Computer controlled.
NORDIKO 2550是一种用于物理气相沉积(PVD)工艺的最先进的溅射设备,专门为大面积重复和可靠溅射而设计。该系统包括一个处理室、高精度机器人处理和多个溅射目标,以提供尽可能高的处理速率,可以实时监控和控制。该装置具有令人印象深刻的真空室,可承受高达4.5毫巴的压力,并具有高效均匀溅射的理想几何形状。创新的运动机器采用高精度机器人围绕腔室移动标本和溅射目标,并采用双轴旋转万向架进行平滑、准确的过程调整和角度调整。机器人手臂独立调整高度和方向,以确保室内任何地方的溅射光滑。2550能够将工艺参数与不同的目标材料相匹配,因为它配备了一个自定义目标持有者和多个单独控制的溅射源。这保证了溅射过程的快速加速和高工艺质量,产生高度均匀甚至涂层。目标源可以水平或垂直配置,每侧最多有八个溅射源。NORDIKO 2550是汽车工业生产功能性部件和系统的理想工具,广泛使用PVD工艺。可靠的溅射工具能够在高达900毫米的面积上的所有类型的表面上产生大的、均匀的和可重复的涂层。该资产拥有广泛的目标材料,从铂等贵金属到合金和所有用于磁控管溅射过程的材料。所有目标源都可以轻松互换,从而为不同的流程提供快速高效的设置。此外,2550还包括一个过程控制模型,它允许实时监测和调整任何过程参数。这保证了工艺的重复性和高精度的涂层结果,与涂层厚度的均匀性变化最小。NORDIKO 2550是可靠的PVD进程的理想选择,其界面极易使用,并且能够适应所有类型的进程。该设备的设计在提供卓越涂层均匀性的同时,也提供了快速简便的工艺设置,使其成为工业批量生产过程中理想的溅射系统。
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