二手 NORDIKO 3000 #9228384 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9228384
Dual ion beam sputter coater
Al203 RF Coupling ceramic window have been replaced
(14) DIBS Targets, 6"
Al, TiN, Zr, Ni, SiO2, Mg, Si, Yt, ITO, Cr, Hf, Zn, AlN, Mo
Spare parts:
Qty / Make / Model / Description / Part no
(1) / LEYBOLD / Trivac D40 BCS PFPE / Roughing pump / 11389B
(1) / LEYBOLD / TurboVac 100C / Turbo pump / 85535
(1) / LEYBOLD / Turbotronik NT1000/1500VH / Turbo controller / 40-2461-8
(2) / RF PLASMA PRODUCTS / RF5 / RF Controllers / -
(2) / SORENSEN / DCS 600 1.7 / Neutralizer power supplies / 1210
(1) / HELIX CTI CRYOGENICS / Cryo Torr 8 / Cryo pump / 8033179
(1) / CTI-CRYOGENICS / 8300 / Compressor / 8052000
(1) / GLASSMAN HIGH VOLTAGE INC / PS / ER OIR 300-220 / DC Power supply / -.
NORDIKO 3000是一个完整的溅射设备，由沉积室、真空泵、电源和控制单元以及必要的部件组成。该腔室设计为具有真空送电通路，允许向基板提供直流电压以进行薄膜沉积。真空泵和控制单元允许在腔室中获得最佳真空。电源用于操作磁控管，为溅射过程提供能量。3000配备磁悬浮和脉冲直流溅射技术。这使得沉积的金属膜具有很好的均匀性、均匀性和极好的附着力。磁悬浮有助于保持一个非常均匀，高质量的溅射膜特征，即使在相当大的基板。NORDIKO 3000具有可调功率和频率，在控制溅射膜金属层的沉积速率和组成方面发挥关键作用。可调脉冲频率也增加了沉积速率，同时提供了改进的均匀性，因为从脉冲非均匀加热节点被消除。因此，3000可以同时产生致密和多孔的薄膜，这是高度附着于底物。NORDIKO 3000系统的多室设计使得两种基板可以同时处理，从而提高了吞吐量。它还具有很高的能效,提供了更短的过程时间、更好的一致性和更好的可重复性。此外，该装置由于具有多种密封机，能够提供良好的环境保护。总的来说，3000溅射工具具有优异的性能，适用于许多不同的薄膜沉积应用。它可以为金属和其他材料提供出色的均匀性、可重复性和附着力，从而对沉积过程进行极大的控制。
还没有评论