二手 NOVELLUS MB2 #100079 待售

NOVELLUS MB2是一款最先进的溅射设备，专为高通量、高精度、可重复的应用而设计。该系统为高级沉积过程提供了一个强大而高效的平台。MB2溅射装置能够产生高度均匀的保形薄膜，在大小不一的基板区域具有极好的阶梯覆盖。NOVELLUS MB2采用独特的数字TVB（薄膜氙）技术,利用高功率射频溅射技术实现快速高效的沉积。先进的控制机器允许精确和可重复的溅射沉积过程，提供卓越的材料一致性，以及在整个基板上均匀的厚度。Digital TVB还具有先进的QuickStart参数和多个流程预设，使运营商能够快速准确地设置和运行多个沉积流程。MB2提供独特的两室设计,提供灵活性和使用效率。主沉积室足够大，可容纳200毫米以下的底物，小样品室可处理75毫米以下的底物。样品室可以独立于主室调谐，使主室通量更高，样品室过程更优化。该工具配备了多种气体，包括用于化学气相沉积过程的Ar、O2和N2。NOVELLUS MB2还具有过程监测系统，如石英晶体微平衡/石英晶体阻抗（QCM/QCI）传感器和光发射光谱（OES）传感器。这些监测系统用于密切监测和准确控制沉积过程，确保高度的精确度和可重复性。MB2提供了多种工具和技术,使其成为各种应用的绝佳选择,例如光电子、微电子和电源设备。NOVELLUS MB2具有先进的特点和可靠性，是精密沉积工艺的绝佳选择。