二手 NOVELLUS MB2 #9270552 待售
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NOVELLUS MB2是一款下一代溅射设备,旨在满足当今先进半导体制造工艺的需求。其先进技术包括最先进的等离子体发生器、高性能目标和工艺室,以及更新、用户友好的控制软件。该系统具有高度可配置性,可用于大型和小型制造项目。MB2的目标级设计具有较高的溅射精度,能够溅射各种材料。目标级包括数字伺服电动机驱动器、无机架垂直升力执行器和位置腔室灵活性,以适应各种基板和目标尺寸。此外,由于其先进的差动泵送装置,腔室能够处理高基压。NOVELLUS MB2配备了两个高性能的等离子体源:一个双直流磁控管和一个射频二极管。这两个源都能够提供最大等离子体密度水平来支持任何种类的沉积过程。双磁控管在整个目标表面提供广泛、均匀的覆盖,有助于减少基板的表面损伤。MB2的用户界面是直观的,可以方便地控制机器的所有功能。通过其更新的控制软件,用户可以自定义折旧参数以满足其特定需求。NOVELLUS MB2是一种可靠而健壮的工具,可用于各种溅射过程。其先进的技术、控制软件和用户友好的界面使其成为半导体应用的理想工具。该资产可以实现高精度和精确度,使用户能够生产出缺陷最小的高质量层和基板。
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