二手 NOVELLUS / VARIAN 3190 #9216672 待售

NOVELLUS/VARIAN 3190设备是一种多腔真空式溅射系统，用于在多种材料上的薄膜沉积。它旨在以经济高效、吞吐量友好的方式提供优秀的薄膜性能。VARIAN 3190采用多室设计，有两个主要部分。前室是基板转移容器，所有与基板的工作都在此开始，包括物料处理、底漆、溅射和后处理操作。后室是真空室，在特定参数下产生高真空。真空室可以根据材料、基材尺寸、沉积技术等因素进行定制调谐。除了两个主腔室之外，NOVELLUS 3190还设有单元内晶圆磁塔、半永久性批量控制器和精细控制磁溅头。磁塔包含两块磁铁，通过将基板保持在静止的位置来帮助稳定薄膜沉积。半永久性批量控制器是一种功能强大的室内机械臂，有助于使房间之间的部分物料处理自动化。机械臂还提供了对沉积过程的精确控制。精密控制磁溅射头是一种精密设计的部件，能够精确控制溅射时间和电源，最多四个不同的阴极。3190除了提供人性化、一致的物料处理/溅射机外，还因其低冲击力的环境设计而得到认可。该工具能够与一个非常低流量的舱室通风操作，使其非常适合封闭和露天环境。它也被设计为允许使用环保溶剂，从而减少挥发性有机化合物（VOC）释放到大气中。NOVELLUS/VARIAN 3190资产是可靠高效的溅射模型，提供优异的沉积效果。该设备具有多个腔室、机械臂和磁性溅射头，为各种沉积应用提供了有效、灵活的解决方桉。此外，它的设计特点使它成为一个环境友好的系统，减少VOC排放和成本。