二手 NOVELLUS / VARIAN XM 90 #9226347 待售

NOVELLUS/VARIAN XM 90是为研发或生产环境应用而设计的溅射设备。VARIAN XM 90是一种数字化的模块化腔室，在薄膜沉积方面提供高度的控制和灵活性。该系统具有500毫米乘500毫米的腔室，由5个溅射源组成，目标尺寸从10-60厘米不等。它设计用于加工多种材料，包括金属、陶瓷和有机基板。NOVELLUS XM-90旨在为过程监控和优化提供多种选择。它有一个用于惰性和反应性气体应用的自动气体控制单元，可以精确控制等离子体。此外,还可以调整工艺参数（如压力、射频功率和温度）以自定义工艺参数。集成光学机器能够实时监测沉积条件，闭环反馈工具有助于确保精确的薄膜和可重复的结果。NOVELLUS/VARIAN XM-90的设计具有快速干燥的波纹管资产,可方便快捷地装卸样品。它还设计为与各种其他VARIAN机器（包括XM 70、XP-6010和XP-61000机械兼容,从而可以轻松集成到现有设施中。此外，该模型还包括操作员和设备的全面安全联锁。XM-90有一个计算机控制的流程周期,允许可编程的流程参数、远程访问和自动配方执行。其易于使用的图形用户界面（GUI）旨在提供对流程配方的轻松控制和监控。此外,VARIAN XM-90的控制接口支持链接的计算机网络,并可提供对XM 90的远程访问。总体而言,NOVELLUS XM 90是为研究和生产环境设计的高级溅射系统。它具有广泛的选择和特点，可以精确控制和优化可重复的高质量胶片的工艺。此外,该设备还提供出色的安全功能、轻松集成到现有设施以及远程访问。因此，NOVELLUS/VARIAN XM 90是寻求可靠、多用途溅射机的用户的理想选择。