二手 NRC / VARIAN 3115 #70870 待售

NRC/VARIAN 3115是一种全自动溅射真空系统，设计用于高度精确的薄膜沉积应用。它以高性能、鲁棒性和用户友好的设计而广为人知。该系统配备了先进的旋转溅射枪，能够同时沉积导体和绝缘体薄膜。此外，利用PLC（可编程逻辑控制器）和鼓风机压力控制，提供精确的过程监控和维护效率。NRC 3115的腔室非常干净，可以沉积具有极好的可重复性和均匀性的薄膜层。它配备了可变深度目标架和原位旋转目标对准，从而消除了粘附目标的风险。真空水平稳定，在沉积过程中，使用内置质量流控制器调节压力控制。VARIAN 3115设计用于处理所有类型的溅射过程，包括薄膜沉积、超薄膜层和分层沉积过程如多层堆积。温度控制是通过电阻加热元件完成的，该元件可用于在整个溅射目标上提供均匀的温度。这确保了敏感材料的均匀和完美覆盖。通过调整工艺参数，可以将薄膜层的溅射量和组成精确控制在+/-0.5%以内。厚度控制可以很容易地使用光学高温计或椭圆偏振计。3115的大腔室尺寸，加上其连续的工艺监测，使得大型部件的生产相对不费力。NRC/VARIAN 3115是生产真空元件的宝贵工具，具有广泛的特性和性能参数，能够成功处理各种溅射过程。其可靠、用户友好的设计使其成为优质薄膜沉积应用的绝佳选择。