二手 NRC / VARIAN 3115 #70871 待售

NRC/VARIAN 3115是为薄膜沉积而设计的最先进的溅射设备。它利用了两个独立的高真空溅射室和四个磁控管。每个磁控管都可以用各种目标材料定制，并且能够独立控制涂层膜的厚度。腔室设有惰性气体回填、抽出站和4目标、4磁控管溅射装置。该系统适用于几种应用，如用金属、金属氧化物和金属氮化物材料涂覆基板。可用于覆盖各种底物和材料，包括单晶、多晶、无定形、纳米晶体结构。该装置具有低热预算的氧化物和氮化物沉积能力，为薄膜应用提供了优越的界面质量和优越的层质量。NRC 3115机设计用于为各种拓扑和光学应用提供高精度、可重复的薄膜溅射沉积。它的六轴外部目标控制和四个磁控管目标能够生产出对所有子层特性和整体膜组成，如组成均匀性和光学清晰度均匀控制的薄膜。此外，它还能够生产含有多层的分级膜，如陶瓷、透明导电氧化物和金属氮化物。通过其用户友好的直观触摸屏显示,该工具提供了强大的高级控件和最先进的流程诊断。资产还为过程控制提供实时反馈方法,包括动态过程控制、过程优化和诊断。此外，它还提供了几种类型的图形过程控制功能，包括图形过程监控和沉积特性。VARIAN 3115是一种创新、可靠和经济高效的工具，使研究人员和工程师能够创造出质量非凡的先进薄膜产品。因此,对于寻求顶级溅射技术的组织来说,这是一个可行的选择。