二手 NRC / VARIAN 3117 #126817 待售

NRC/VARIAN 3117溅射设备是为薄膜高效沉积而设计的高性能、可靠的溅射工具。它能够沉积金属、氧化物、氮化物和气凝胶等多种材料。该系统结合了三个过程：蒸发、离子轰击和溅射。它有两个完全独立的腔室，可以选择三种磁控管构型之一：磁控管、钛或间接的。该装置还包括两个用于蒸发和溅射的射频源，以便以较高的沉积速率和增强的均匀性进行沉积。此外,该机器具有4英寸负载锁定功能,并且在两个腔室中都有一个样品鼓,这样可以快速方便地进行样品传输和加载。NRC 3117搭载超高真空工具，底压10-6 Torr，保证了卓越的薄膜质量和均匀性。射频源可用于控制频率、功率水平和脉冲调制，允许对沉积参数进行微调。该资产还具有用于监控和设置条件的PC控制接口，以及具有质量流控制器（MFC）的可调气体分配模型，用于设置各种工艺参数。VARIAN 3117具有易于使用的射频溅射旋转项圈设备，可以精确控制溅射材料的角度。此外，该系统还有一个内置的高压电气安全装置，用于监测电源的电压并防止潜在的危险情况。该机还包括一系列附件，如用于安全处理的样品基座、用于加热样品的耐热元件，以及用于改进对薄膜性能控制的若干磁性和惰性气源的选择。3117设计为用户友好型工具,具有直观的用户控制软件和多种功能,易于使用。高精度的沉积技术，低热预算，可靠的建造质量，使其成为各种沉积应用的绝佳选择。NRC/VARIAN 3117是创建高速率、质量优良的均匀薄膜结构的理想工具。