二手 NRC / VARIAN 3117 #151541 待售

NRC/VARIAN 3117是一种设计用于高精度沉积过程的低压直流（DC）磁控管溅射设备。溅射系统采用双口袋磁控管溅射头在多种基材上沉积优质涂料。溅射装置包含一台先进的射频电机，旨在最大程度地提高沉积产量和均匀性。它能够沉积各种材料，从金属到半导体和绝缘体。NRC 3117还包括一个真空工具，用于创造一个几乎完全清洁的溅射环境，以及一些安全功能，以确保资产符合政府标准。真空模型采用七级机械涡轮泵、隔膜泵和Pirani仪表，将样品排空至约1.3 x 10-6 mBar的基本压力。设备还配备了减少除气的冷陷阱、确保沉积金属为纯溅射金属的气体分离器和测量大气污染程度的电离计。溅射头可装载多种来源，从金属到绝缘体。VARIAN 3117中的电源可配置为直流磁控管溅射和射频或脉冲直流溅射沉积。射频电源设计用于高功率负载和快速频率切换,可精确控制沉积速率。它具有0到1.2 kW的可调射频功率和0到4 μ S的可调脉冲宽度。磁头设计为响应快、通量高，工艺条件可调整，使膜生长最优。3117提供了广泛的温度控制，从环境到930°C（1706°F）。高温的crucible设计可以防止由于热梯度而对基板造成污染。NRC/VARIAN 3117还配备了先进的软件，允许闭环反馈控制和微处理器辅助操作。用户友好的界面允许实时监视、记录和控制溅射和辅助进程。总体而言，NRC 3117是一种先进、用途广泛的溅射系统，可用于多种应用。用户友好的界面和广泛的控制参数使其成为高精度沉积过程的理想选择。