二手 NRC / VARIAN 3117 #171831 待售

NRC/VARIAN 3117是一种用于薄膜沉积工艺的溅射设备。它是一个闭环直流电源系统，能够产生从0V到-700V的各种直流偏置电压。该单元配备了一系列功能，包括手动和自动溅射控制、高压直流溅射、高速度溅射、超高速度溅射。该机还可以配置各种材料，包括铝、钛、金、铜。这种溅射工具在一个充满低压气体的真空室中工作，通常是氙气或氮气。气体由电子束真空源产生，由鼓风机风扇循环通过腔室。这种气体在腔内保持稳定的气氛，也有助于防止在腔壁表面堆积沉积物。在腔室内，一个旋转的磁控管被用来产生离子，然后被送到样品。样品通常被放置在基板支架上，可以在溅射过程中上下移动和旋转。还加热支架，以确保物料在样品上逐层溅射，很好地附着在基板上。磁控管的电源可以手动设置，也可以使用计算机控制的程序使溅射过程自动化。无论哪种情况，通过磁控管的电流都被测量并用于调节离子轰击的速度和强度。这样可以精确控制溅射过程。NRC 3117溅射资产也提供了一个方便的方式来监控过程。内置摄像机和监视器可实时查看溅射过程。此外，集成电路软件和硬件可以准确测量沉积过程的质量。VARIAN 3117溅射模型是为薄膜的精确沉积而设计的.它具有多种特性、灵活性和监控能力，是各种沉积应用的理想选择。