二手 NRC / VARIAN 3117 #293621573 待售

NRC/VARIAN 3117是为各种材料的薄膜和膜的高效沉积而设计的最先进的溅射设备。可用于制造多种类型的薄膜和膜，如金属、半导体、电介质和聚合物制成的薄膜和膜。该系统由溅射源和真空室两个主要部件组成。溅射源是一个强大的磁控管，具有三个平面磁控管和两个产生强烈磁场的旋转磁铁。这种磁场导致源室内的高能电子级联。这些电子轰击目标物质，从其表面喷射出原子，形成中性原子云。这种原子云，或称等离子体，然后被转移到真空室，在那里它在底物上沉积薄膜或膜。真空室是一种圆柱形的不锈钢容器，能够达到1 x 10-6 Torr或更低的底压。它装有基板设置、支撑臂、手动调节的喷嘴、用于温度控制的加热器和电阻器以及其他辅助部件。基板设置包括旋转基板安装、高达1000 RPM的旋转速度和可选的晶圆支架。支撑臂将喷嘴固定到位，可选的晶片支架为薄膜沉积提供稳定的表面。温度控制是通过使用置于基板设置中的加热器和电阻器来实现的。此外,NRC 3117设备还具有用于设置参数、监控性能和控制机器的综合控制面板。面板由处理器单元、模拟控制板和数字控制板组成。处理器单元允许用户设置功率、目标材料和沉积速率等参数，而模拟和数字控制板则监视和调节工具的性能。简而言之，VARIAN 3117是一种可靠的溅射资产，在制造薄膜和薄膜时提供卓越的精度和控制。它提供了多种材料的高效沉积，其精密的控制面板允许用户监控和优化模型性能。3117具有先进的特点和可靠的性能，是薄膜制造的理想选择。