二手 NRC / VARIAN 3117 #293625152 待售

NRC/VARIAN 3117设备是一种精密的溅射系统，能够生产复杂的多层薄膜。它由几个不同的部件组成，即溅射室、目标负载锁和可变的高真空泵机。溅射室是一个完全封闭的水冷不锈钢室。它配备了两个独立轮廓平面，双磁控器源与数控可变功率。这允许以非常高的沉积速率对精确和精确定义的目标形状进行溅射。目标载荷锁是一个坚固的自动腔室，用于将溅射材料输送到溅射腔内。它还具有负载匹配能力，能够以最小的背压转移材料。可变的高真空泵机提供了最佳的过程控制，并允许大量的固体和气体被溅射。该工具还包含几个特定于工艺的特殊功能，如样板支架组件、闭环制冷资产以及溅射样品清洗和溅射脱气能力。总体而言,NRC 3117溅射模型是一种先进的技术,能够以最佳的精度、可重复性和可靠性生产高质量、复杂的多层薄膜。