二手 NRC / VARIAN 3117 #3842 待售

NRC/VARIAN 3117是一种高性能溅射设备，设计用于在多种基板上产生薄膜沉积。该系统的沉积速率超过每分钟500埃，用于半导体制造业，以及光学、MEMS和薄膜工业。NRC 3117具有优化的脉冲直流溅射源和磁控管配置。这种构型使薄膜沉积得到精确控制，在基板上覆盖均匀。该单元还包括一个可以配置用于气体或层状溅射的溅射源。VARIAN 3117配备了先进的沉积控制能力，如监测沉积速率和实时调整的能力。机器还通过溅射目标的可调压力提供对薄膜形态和杂质水平的精确控制。3117有模块化设计，能够快速安装和操作设置。该工具还配备了高级诊断功能,可提供有关溅射资产性能的宝贵数据。设计中还包含了一系列自动化功能，包括自动卡带加载、基板尺寸检测和基板定位控制器。NRC/VARIAN 3117完全符合关键的安全相关标准,如NFPA-79和CSA C22.2 No.14-91。它还能够通过其发电机许可操作功能对生产过程进行标准化和验证。即使提高了生产速度，NRC也能够提供高度准确的结果。总体而言，NRC 3117模型是一种功能强大、高效的溅射设备，为各种基板上的一致薄膜沉积提供了广泛的优化能力。其多才多艺的设计，加上先进的诊断和自动化能力，使其适合各种生产需求。