二手 NRC / VARIAN 3117 #9081339 待售

製造商
NRC / VARIAN
模型
3117
ID: 9081339
E-beam evaporator High vacuum station Includes: SS Chamber: 18" dia x 20.5" tall With electro mechanical hoist on 20" SS baseplate VARIAN M6 Diffusion pump Rated: 1500 l/s air NRC / VARIAN 316 LN2 Baffle electro pneumatic valves with sequencer Mechanical roughing pump: 17 CFM Does not include helium mass spectrometer.
NRC/VARIAN 3117是专门为真空工业设计的陶瓷对金属/金属对陶瓷溅射设备。这种溅射系统是为磁带和磁盘行业、光电器件生产、集成电路(IC)行业而构建的。它用途广泛,可用于多种应用,包括涂层塑料基板、玻璃上的铬、金对金和铁氧体溅射以及离子植入。NRC 3117溅射单元由真空室、固定夹具、风冷阴极磁体和电源组成。真空室由隔绝隔膜构成,由不锈钢和铝等低导电材料构成。这种流线型设计意在防止渗出装在室内的介质,并防止工作材料和设备受到污染。VARIAN 3117溅射机使用两个平行板电极系统和一个大功率直流(DC)磁控管电源提供高效、均匀的离子轰击。直流磁控管等离子体源用来製造高密度的氙离子,然后将其指向目标底物。电源连接到可变功率变压器,该变压器用于调整功率以在表面上形成均匀的材料层。3117还包含一个冷却工具来管理腔室的温度,这有助于溅射材料的质量,创造一个更受控制的环境。NRC/VARIAN 3117为了在溅射室中保持和移动目标基板,配备了可移动的标本架或面板。这使得在腔室内外容易装卸样品。持有人还配备了气体处理资产,这对溅射电离过程很重要。NRC 3117可以溅射铝合金、铜、金、镍铬合金等多种不同类型的材料。这种溅射模型特别适合于实现超均匀性的超薄层和独特的图桉。这种溅射设备被广泛用于制造半导体产品的低成本原型和子组件,以及用于一般制造操作。此外,这种溅射系统可用于多种应用,如电介质层的沉积和光学元件。VARIAN 3117溅射装置是市场上最可靠、用途最广泛的系统之一,被广泛用于提供可靠和可重现的结果。这台机器提供无与伦比的速度、精度和控制,生产高质量,可靠的零件.
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